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【选型指南】自动特征分析套件(ACS)测试系统

高工
2012-05-12 11:25:09     打赏


ACS集成测试系统是一种可灵活配置、基于仪表的系统,用于器件、晶圆或晶圆盒(cassette)的半导体特性分析;其强大而灵活的自动化软件系统实现了独特的测量功能。吉时利久经考验的仪器和测量技术构成了该系统的核心-由ACS软件控制。ACS系统填补了交互式实验室研究设备与高成本和高产能的生产测试设备之间的空白。

功能特性:
完全可定制的系统包括:
  • 从测试台到全高度仪器架的配置范围
  • 晶圆级到晶盒级的自动测试
  • 兼容常用的半自动化和全自动探针台
  • 测试安装和晶圆安装的紧密结合
  • 用于配置和分析的交互式探针台控制功能
  • 分选与晶圆定位功能
  • 测试安装和晶圆级预览都可以显示交互式绘图结果
  • 基于自动测试的可配置、实时结果绘图功能
  • 报告产生和总结工具
  • 集成测试脚本开发工具
  • 为2600系列和4200SCS型提供了丰富的参数测试库  



  • 关键词: 选型     指南     自动     特征     分析     套件     测试系统    

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