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超声波功率放大器 ATA2000MEMS光栅控制驱动中的典型应用

菜鸟
2018-06-15 15:54:42    评分

超声波功率放大器 ATA2000MEMS光栅控制驱动中的典型应用:

关键索引词:

 MEMS 微机电系统

 MEMS传感器

 MEMS 光学扫描仪

 微机械陀螺仪

 MEMS简介:

    微机电系统(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微电子机械系统、微系统、微机械等,是在微电子技术(半导体制造技术)基础上发展起来的,融合了光刻、腐蚀、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密机械加工等技术制作的高科技电子机械器件。

微机电系统是集微传感器、微执行器、微机械结构、微电源微能源、信号处理和控制电路、高性能电子集成器件、接口、通信等于一体的微型器件或系统。MEMS是一项革命性的新技术,广泛应用于高新技术产业,是一项关系到国家的科技发展、经济繁荣和国防安全的关键技术。

MEMS侧重于超精密机械加工,涉及微电子、材料、力学、化学、机械学诸多学科领域。它的学科面涵盖微尺度下的力、电、光、磁、声、表面等物理、化学、机械学的各分支。

MEMS是一个独立的智能系统,可大批量生产,其系统尺寸在几毫米乃至更小,其内部结构一般在微米甚至纳米量级。常见的产品包括MEMS加速度计、MEMS麦克风、微马达、微泵、微振子、MEMS光学传感器、MEMS压力传感器、MEMS陀螺仪、MEMS湿度传感器、MEMS气体传感器等等以及它们的集成产品。

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MEMS光栅应用测试:

    MEMS光栅采用了硅微加工工艺技术,在外力作用下使光栅的某些特征参数(如周期、光栅等常数)发生改变,从而实时改变光栅的工作性能,实现光栅的可编程应用。基于其独特的优势,MEMS光栅已经用于光通信、高清显示设备、光谱分析等领域。MEMS光栅具有多种驱动方式,而静电驱动的 MEMS光栅, 由于其工艺易于实现、耗能低、频率响应高,因此是最常用的驱动方式。著名的光栅光阀(GLV)和气体探测器(Polychromix) 都是采用静电驱动的。 静电驱动的可编程光栅还存在某些不足。静电驱动的能量密度较小,当结构需要比较大的工作 位移(微米级),就必须增大驱动电压,驱动电压甚 至达到上百伏。当结构受静电力作用,由于机械结构特有的惯性而产生弹性振荡,增大系统延迟。实际工作时,光栅等效电容会随光栅梁位移的改变而变化,导致驱动电路容性负载的变化。这些都为设计驱动电路带来困难。 因此,MEMS光栅的工作性能很大程度上依赖于驱动放大器的性能。




关键词: 超声波功率放大器    

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