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MEMS晶圆片自动测试系统

菜鸟
2015-01-06 14:49:29     打赏

      Acery(新锐科技)基于Keysight仪器研制了一套自动测试系统,完成流量计、压阻、陀螺、加表、压力传感器等产品的导通电阻、绝缘电阻、电容、电压静态参数的测试和品质因数、损耗因子、带宽等动态参数的测试,动态参数测试时显示测试曲线。测试系统有如下特点:

测试通道灵活

测试产品覆盖流量计、压阻、陀螺、加表、压力传感器等多种产品,每种产品的测试参数及测试管脚定义都不相同,增加了开关矩阵的设计难度,同时测试产品的通道是复用的,通道既可以测试导通电阻,也可以测试电容,既可以作为电压参数测试时的加电端,也可以作为电压参数测试时的测量端,测试时的通道切换是任意的,通过Keysight的E5250A及Acery的LM4453A的组合,形成了复杂的开关矩阵组合,满足了灵活的通道切换。

方便的系统连接

通过开关矩阵将测试产品的通道扩展到24个或者更多,测试时,只需要将开关矩阵的通道与测试产品的通道相连,根据通道配置文件,自动测试每一个通道的测试参数。当产品需要测试动态参数测试时,测试过程不需要更换测试电缆,保证了全参数的自动测试,保证测试的连贯性,同时减少了电缆更换错误的可能性。

多通道校准功能保证了测试精度

电容测试之前首先校准每一个电容测试通道,并保存每一个通道的校准文件,当测试电容时,软件自动调用每个通道的校准文件,这样消除了由于测试电缆、开关引入的寄生电容的影响,保证了电容测试的精度和准确性。

导通电阻测试之前进行通道补偿,测试开关、电缆引入的通道电阻值,并从最后的测试结果中扣除通道电阻值,保证了导通电阻测试精度和准确性。

灵活的测试流程

测试系统提供了灵活的测试流程,可以从任意位置开始测试,当由于测试过程中出现异常而导致测试结果不准确时,可以重新测试此区域,测试将覆盖异常的测试结果。

当由于某种原因导致测试中断时,续测功能保证测试从测试中断点继续测试,并将测试数据结果保存在中断之前的数据文件中。

强大的统计功能

测试系统软件提供了强大的统计功能,不仅提供了测试过程中统计还提供了事后统计功能。测试过程中统计可以统计当前测试条件下一个或几个参数的合格情况,事后统计功能可以修改参数的判据,重新生成参数合格分布情况。

真正定制化的自动系统

随着客户研制产品种类的增加,客户会不断提出新的测试需求,测试系统硬件考虑了产品扩展的需求,留有足够的测试通道,测试系统软件可以按照客户需求不定期的升级,真正实现测试系统的自动化。

测试信号微弱

测试品质因数或带宽等动态参数时,测试产品的振动产生的电流/电压信号是微弱的,产生的微弱的电流/电压信号很容易被测试通道的噪声干扰,给测试带来误差。测试动态参数时,测试系统接入了放大器,放大产品产生的电流/电压信号,同时通过精确的滤波算法,滤除噪声信号的干扰,因而保证了测试结果的准确。




关键词: MEMS     晶圆片     测试系统     自动测试    

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