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为了减小静电场影响，被测电路可被密封在一个静电屏内。图8所示为非屏蔽和屏蔽测量一个100GΩ电阻之间的巨大差异。非屏蔽测量比屏蔽测量时的噪声要大得多。

图8. 100GΩ电阻的屏蔽和非屏蔽测量的比较

屏蔽可以仅仅是一个将测试电路包围起来的简单金属盒或金属网。商业探针台往往将敏感电路密封在一个静电屏蔽内。屏蔽被连接至测量电路LO端子，该端子不一定接地。对于4200-SCS来说，屏蔽连接至Force LO端子，如图9所示。

图9. 屏蔽高阻器件

采取以下步骤将静电耦合导致的误差电流降至最小：

· 屏蔽DUT，并将屏蔽层在电气上连接至测试电路公共端——4200-SCS的Force LO端子。

· 使所有带电物体(包括人员)和导体远离电路的敏感区域。

· 测试区域附近避免移动和振动。