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1. 摘要

共聚焦扫描显微技术在1950年代由ML Minsky发明并获得专利，后来以激光作为光源，现已得到了广泛的应用。通过使用空间针孔来阻挡离焦平面散射或反射的光， 促进提高纵向分辨率和对比度。 在此示例中，我们在VirtualLab Fusion中构建了一个共焦扫描显微镜，并使用具有变化的脊和槽的金属光栅作为测试对象来演示其工作原理。

 2. 建模任务

共聚焦扫描显微镜是如何工作的，并且探测功率随目标横向位移产生的变化？

 3. 聚焦区域的探测场

  4. 来自测试对象的直接反射


  5. 待测目标成的像

 6. 功率测量VS待测目标的横向偏移

 7. 走进VirtualLab Fusion  8. VirtualLab Fusion中的工作流程  使用界面构造光栅结构- 使用界面配置光栅结构[用例] 复杂系统中的光栅建模- 光学系统中光栅的建模–实例讨论[用例] 正确设置通道以进行多通道仿真- 曲面和光栅区域的通道配置[用例] •使用参数运行检查影响/更改- 参数运行文档的使用[用例]
 9. VirtualLab Fusion 技术

 文件信息

  进一步阅读

- Demonstration of Abbe's Theory of Image Formation
- Modeling of Gratings within Optical System - Discussion at Examples