建模任务
入射平面波波长 2.08 nm光斑直径: 3mm沿x方向线偏振 如何进行整个系统的光线追迹分析?如何计算包含矢量效应的焦点的强度分布? 概览•样品系统预设为包含高数值孔径物镜。•接下来,我们将演示如何按照VirtualLab中推荐的工作流程对样本系统进行模拟。
光线追迹模拟•首先选择“光线追迹系统分析器”(Ray Tracing System Analyzer)作为模拟引擎。•点击Go!•获得3D光线追迹结果。
光线追迹模拟•然后,选择“光线追迹”(Ray Tracing)作为模拟引擎。•单击Go!•结果,获得点图(2D光线追迹结果)。
光场追迹模拟•切换到“第二代场追迹”(Field Tracing 2nd Generation)作为模拟引擎。•单击Go!
光场追迹结果(照相机探测器) •上图仅显示Ex和Ey场分量的强度。•下图通过整合Ex、Ey和Ez分量显示强度:由于高数值孔径情况下相对较大的Ez分量,可以看到明显的不对称性。 光场追迹结果(电磁场探测器) •通过使用电磁场探测器获得所有电磁场分量。
文件信息
微结构晶圆检测光学系统
利用矢量光束照射对亚波长光栅进行成像