
建模任务




光场追迹模拟•切换到“第二代场追迹”(Field Tracing 2nd Generation)作为模拟引擎。•单击Go!

光场追迹结果(照相机探测器) •上图仅显示Ex和Ey场分量的强度。•下图通过整合Ex、Ey和Ez分量显示强度:由于高数值孔径情况下相对较大的Ez分量,可以看到明显的不对称性。





文件信息
微结构晶圆检测光学系统
利用矢量光束照射对亚波长光栅进行成像
微结构晶圆检测光学系统
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