薄元素近似法(TEA)对比傅里叶模态法(FMM)进行光栅建模
研究了两种常用但原理不同的分析光栅衍射效率的算法: TEA和FMM(也称为RCWA)。比较了不同周期的两种类型的光栅(正弦和闪耀)结果。倾斜光栅的参数优化及公差分析
以傅里叶模态法(FMM)作为参数优化的核心,设计了一个倾斜光栅来实现高衍射效率将光耦合到光波导中的目的。此外,还分析了包括圆角边缘在内的制造公差。
研究了两种常用但原理不同的分析光栅衍射效率的算法: TEA和FMM(也称为RCWA)。比较了不同周期的两种类型的光栅(正弦和闪耀)结果。
以傅里叶模态法(FMM)作为参数优化的核心,设计了一个倾斜光栅来实现高衍射效率将光耦合到光波导中的目的。此外,还分析了包括圆角边缘在内的制造公差。