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菲索光学测试干涉仪

infotekkaya
助工
2024-09-19 11:16:45     打赏
摘 要
 

斐索干涉仪是工业中常见的光学计量设备，它们通常用于光学表面质量的高精度测试。 借助VirtualLab Fusion中的非顺序追迹，我们构建了一个菲索干涉仪，并利用它测试了不同的光学表面，例如圆柱形和球形。 可以看出，产生的干涉条纹对表面轮廓具有敏感性。

1.png

建模任务

2.png

倾斜平面下的观测条纹


3.png

圆柱面下的观测条纹


4.png

球面下的观测条纹


5.png

VirtualLab Fusion 视窗


6.png


VirtualLab Fusion 流程


7.png

VirtualLab Fusion 技术


8.png


文件信息


9.png

 


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