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【应用指南】用带纳米探针的Agilent B1500A进行失效分析

Flora0217

高工

2012-05-11 11:16:50 打赏

只看楼主 1楼

Agilent B1500A半导体器件分析仪

目前，利用扫描探针显微镜(SPM) 技术的纳米探测已能使用压电致动器达到纳米级 (9-10 nm)的探测水平。这篇应用指南将为您介绍一种新的失效分析技术，这项技术使用一种流行纳米探针，来自日立高科技公司制作的N-6000精细结构器件表征系统，以及Agilent B1500A半导体器件分析仪。N-6000 可以直接接触集成电路内的器件，从而有助于弥补物理和电气失效分析技术之间的差异。5989-5927CHCN.pdf

关键词：应用指南用带纳米探针 Agilent B1

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