本文提出了一种新的可靠的圆片级1/f噪声测量方法和架构。所提出的测试架构采用了吉时利的系列仪器，包括4200-SCS、428和一个低通滤波器。其中采用了吉时利的自动特征分析套件（ACS）软件来控制测量仪器的操作，采集/分析测得的数据。由于所用的低通滤波器能够消除所有高于0.5 Hz的高频噪声，因此大大提高了1/f噪声的测量精度。利用这一测量架构能够在各种偏压条件下评测具有不同尺寸的NMOS和PMOS器件的1/f噪声特征。
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