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吉时利新推出的S530参数测试系统采用了成熟的源和测量技术，能够实现工艺控制监测、工艺可靠性监测和器件特征分析所需的全部直流和C-V测量功能。吉时利在为全球半导体行业用户生产各种标准的和定制的参数测试系统方面具有30余年的经验。

针对高复用测试环境进行了优化

S530参数测试系统的设计能够满足必须处理多种器件和工艺的生产和实验室环境的需求，具有业界领先的测试规划灵活性、自动测试功能、探针台集成和测试数据管理功能。目前有三种不同型号的S530系统，能够满足不同类型应用的需求。

简单的软件移植和高度的硬件重用

S530系统的设计简化了测试启动过程，实现了现有测试资源的最大重用性。例如，控制这些系统的自动特征分析套件（ACS）软件兼容很多新出的和传统的自动探针台。此外，S530的接线引出（cabled-out）配置使得它很容易适应已有探针卡库的重用。S530提供了几种可选的应用服务，能够帮助用户继续挖掘现有探测仪和探针卡投资的价值。另外，我们还能够帮助用户加快开发新的测试配置，或者将已有的测试配置转换用于S530系统。

针对各种低容量到中等容量应用的系统配置

目前有三种不同的标准S530参数测试系统配置可供选择，能够满足不同参数测试应用环境的需求。S530基本系统是业界性价比最高的全功能参数测试仪；它能够提供具有标称测量灵敏度的、高达1A电流或200V电压的强大信号源，非常适合于很多通用工艺监测应用。S530低电流系统采用了超低漏流开关矩阵和灵敏测量技术，具有亚皮安级测量分辨率。这种系统版本为探针卡提供了全面的低电流保护，非常适合于亚微米MOS硅工艺的特征分析。S530高压系统能够提供高达1000V的电压源，满足汽车电子和电源管理测试应用所需的击穿与漏流测试的需求。

应用指南：S530系列参数测试系统.pdf