并行I-V测试系统――适用于复杂器件的多个DUT测试或多通道测试的系统。对此类DUT的测试,速度取决于仪器、应用程序以及在施加激励源后DUT达到稳定响应时所需的时间(过早的测量将产生错误结果)。在现有的并行测试系统设计中碰到的限制包括顺序多通道源-测量设计而不是同步的多通道源-测量、有限的电压或电流量程、灵活性不够、体积庞大以及高成本等(因为这些系统可能过度重视从基础设计开始、仪表的灵敏度、或较高程度地为用户定制设计)。
可随意组合的多通道系统――不同于其它两种结构,它通常包括多种仪器来测试复杂的器件。两种最常见的可随意组合的多通道系统为(a)集成的功能测试机台和(b)采用开放式API(应用程序接口)架构仪器构建的I-V测试系统。
开放式API接口是指采用模块化结构的仪器产品,非常方便构建定制的测试系统方案;与半导体参数测试机台不同,它是一个完全预先装配好的完整系统。在这两种结构中,SMU通常都是核心部件,当然也可能包含其他设备,如信号发生器、示波器、频谱分析仪、程控开关等。
当SMU作为参数测试机台或其它成套测试系统的内部模块时,一般将宽带仪器作为外部添加设备。不管是哪种情况,最理想的是实现仪器的无缝集成,以获得多通道高速I-V测试解决方案。成套测试系统(交钥匙工程)的优势在于,已经为用户进行了许多的软硬件集成,且仍能提供一定程度的灵活性;其缺点是成本相对较高。相反,开放式API系统可获得高度的灵活性,并且成本会更加低廉,当然这与具体的应用和仪器特性直接相关。