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半导体功能测试包含一些新的术语，这里先简单介绍一下：· Output Mask 输出屏蔽，一种在功能测试期间让测试通道的输出比较功能打开或关闭的方法，可以针对单独的pin在单独的周期实施。· Output Sampling 输出采样，在功能测试中，DUT的输出信号在周期内的某个时间点被评估的过程。PE卡上的比较电路会将输出电压和预先设定的逻辑1（VOH）和逻辑0（VOL）相比较，然后测试系统做出pass或fail的判断。Output Sampling也称为“Strobing”。· Test Pattern 测试向量（国内很多资料将其译为“测试模式”），是器件一系列所设计的逻辑功能的输入输出状态的描述。输入数据由测试系统提供给DUT，输出数据则用于和DUT的输出响应相比较。在功能测试期间，测试向量施加到DUT并运行，当其中的一个期望输出与器件的实际输出不匹配时，一个failure就产生了。Test pattern也称为“Test Vectors”或“Truth Tables（真值表）”。Test Vectors的说法更强调时序性，指逻辑电平的一系列0、1序列或其他表征。· Signal Format 信号格式，PE驱动电路提供的输入信号的波形。功能测试 功能测试是验证DUT是否能正确实现所设计的逻辑功能，为此，需生成测试向量或真值表以检测DUT中的错误，真值表检测错误的能力可用故障覆盖率衡量，测试向量和测试时序组成功能测试的核心。当执行功能测试时，必须考虑DUT性能的所有方面，必须仔细检查下列项的准确值：· VDD Min/Max DUT 电源电平
VIL/VIH输入电平
VOL/VOH输出电平
IOL/IOH输出电流负载
VREF IOL/IOH 切换点
Test Frequency 测试频率/周期
Input Signal Timings 时钟/建立时间/保持时间/控制信号
Input Signal Formats 输入波形
Output Timings 周期内何时采样
Vector Sequencing 向量文件的起始/终止点
从上表可以看出，在功能测试中需要利用测试系统的大部分资源，所有的功能测试都有两个不同的部分组成，主测试程序中的测试向量文件和指令集。测试向量文件代表需测试的DUT的输入输出逻辑状态，测试程序包括控制测试硬件产生必需的电压、波形和时序需要的信息。