成分分析EDX主要用途
观察样品表面微观形貌，进行尺寸及深度进行测量，能谱元素分析。
成分分析EDX性能参数
a)二次电子分辨率：1.0nm（加速电压15kV，WD=4mm）
b)放大倍数 100~800000（照片倍率）；
400~2000000（实际显示倍率）
成分分析EDX应用范围
1.提供表面及横截面微细结构观察及分析；
2.对多层结构样品提供精准的膜厚量测及标示；
3.借由低能量的电子束扫描做被动式影像对比(PVC)对于不良漏电或接触不良的组件损坏可以精准的定位，提供异常分析之判断；
4.样品借由层次去除技术(Delayers)，提供SEM做电路自动连拍拼接生成的图文件，可以与光学显微镜生成的图像做纵向连结，提供电路还原逆向工程之参考
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成分分析EDX
关键词： 成分 EDX EDS 失效分析 半导体芯片
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