光栅被斜入射S和P偏振平面波照亮。JCMsuite计算近场分布。下图显示了当波长为193nm时,平面波从衬底侧垂直入射到结构内的近场强度 S偏振光照明的近场强度
P偏振光照明的近场强度
后处理傅里叶变换计算散射场在上半空间的傅里叶变换。
在实验中,远场通常由成像的光学装置来收集。后处理光学成像允许描述一个通用光学成像系统。我们通过一个没有像差的简单2X放大工具来演示这一点。
PostProcess { OpticalImaging { InputFileName = "project_results/transmitted_fourier_transform.jcm" OutputFileName = "project_results/image_fourier_transform.jcm" OpticalSystem { SpotMagnification = 2.0 }}
输出文件fourier_transform_image.jcm包含经过光学系统后的场的傅里叶变换。可以使用笛卡尔输出后处理来计算相干图像。下图显示了不同z方向切片的图像(图像平面沿z方向放置),用于S偏振照明。 线光栅通过光学系统后的相干图像(s偏振入射平面波)
线光栅通过光学系统后的相干图像(p偏振入射平面波)