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TRCX:掺杂过程分析

助工
2024-05-17 09:37:43     打赏

      在 LTPS 制造过程中,使用自对准掩模通过离子注入来金属化有源层。当通过 TRCX 计算电容时,应用与实际工艺相同的原理。工程师可以根据真实的 3D 结构提取准确的电容,并分析有源层离子注入前后的电位分布,如下图所示。

5.17-1.png

(a)FIB

5.17-1.1.png(b) 掺杂前后对比




关键词: 掺杂     过程     分析    

专家
2024-05-17 10:27:04     打赏
2楼

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