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检测方式:双镜头对心安装,利用一个标准厚度的标定块,传感器记录下这个标准厚度,进行标定。然后将产品进行测量,动态测量多个点位,将多个点位的值保存下来,去除最大值最小值,然后余下的数据做平均。
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检测结果:测试五片料32组静态重复性数据:静态重复精度最大值为2.013μm;光伏板硅片栅线厚度测量测量需求:测量太阳能光伏板硅片删线的厚度(难点:栅线不是一个平整面,自身有一定的曲率,对测量区域的选择随机性影响较大)。
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测试方法:单探头在二维运动平台上进行扫描测量——将需要扫描测量的硅片选择三个区域进行标记,用光谱共焦单探头单侧测量(栅线厚度是栅线高度-基底的高度差),扫描过程中得到栅线的轮廓图,栅线厚度=栅线高度与硅片基底的高度差。
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测量结果:测量结果数据对比最大误差区间为0.001μm左右。