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分析高数值孔径物镜的聚焦特性
摘要 高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此,在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析,可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场,也可以深入研究矢量效应。 概述 •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。•接下来,我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。光线追迹仿真 •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。•单击go!•获得了3D光线追迹结果。光线追迹仿真 •然后,选择“光线追迹”作为模拟引擎。•单击go!•结果得到点图(二维光线追迹结果)。 场追迹仿真 •切换到场追迹,然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。•单击go! 场追迹仿真(相机探测器) •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度:由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大,因此可见明显的不对称性。
关键词: 分析 高数值 数值 孔径 物镜 聚焦 特性
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