下图是IGBT内部的寄生电容示意图,MOSFET同理。可以看到Cox是多晶硅栅极对衬底的电容,以栅极氧化层为介质,包括下图中的C2,C3,C4。其中,C3,C4是输入电容Cge的一部分,C2是Cgc的一部分。沟道电阻的公式中出现的Cox特指C3。
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