图6 采用带保护缓冲电路的两线直流反转测量的测试设置（保护源连接提供了一种解决测试电路低阻抗的问题的方式）
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大电阻的测量2—低功率纳米技术 及其它敏感器件的交流与直流测量方法的比较
相比之下，纳伏表 具有1000倍高的输入阻抗（也就是10GΩ），因此它可以以±1%精度来测量高于1GΩ的电阻。（消除10GΩ的负载影响只需将输入阻抗精确到±10%，以开路作为测试对象，通过直流反转测量的方法即可得到。）此外，一些电流源提供了保护放大器，这样纳伏表 可以测量保护电压而不是直接测量测试对象的电压（图6）。这就将传输至测试对象的电流噪声降低到电流源噪声 （低于20fA/ ）。在引线电阻可以忽略，两线连接至测试对象可以接受的情况下，这种配置可降低了负载误差 、噪声及功率。
图6 采用带保护缓冲电路的两线直流反转测量的测试设置（保护源连接提供了一种解决测试电路低阻抗的问题的方式）
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关键词： 电阻 测量 功率 纳米技术 其它 敏感 器件 交流
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