半导体器件 / 微电子实验室是现代电子工程教育课程的一个主要部分。它允许大学生应用他们在器件物理学和 VLSI 课程学到的内容。在半导体器件实验课程中,学生通过“自己动手”学习半导体微米 / 纳米制造技术、工艺和电特性分析。教育经验包括熟悉工艺设计、仿真和集成。当理解了这些概念后,学生将制造、分析和评估各种半导体器件,例如二极管、双极晶体管和场效应晶体管、无源元件乃至集成电路器件。
对于实验室研究的所有半导体器件,最常见的电特性分析方法是:
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1.电流与电压 (I-V) 测试显示了流过的直流电流和电子器件以及器件两端直流电压之间的关系。 | 2.电容与电压 (C-V) 测试用于分析半导体材料和结构参数,例如表面俘获电荷密度、固定电荷和氧化层电荷。 |