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MEMS器件的真空度问题

菜鸟
2008-12-08 21:02:29     打赏

我现在有个MEMS器件,已经封装好了,不过不知道器件的密封性如何,请教各位达人有没有方法检测一下!! 急,急 !!



关键词: 器件     真空     问题    

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