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阻值为1GΩ或者更高的电阻器常常称为高兆欧电阻器。高兆欧电阻器使这些元件成为不寻常的器件。所以在对其进行测量时，要考虑以下几种因素：电压系数和温度系数、机械振动的影响及污染等。

广泛使用的高兆欧电阻器有两种：碳膜电阻器和金属氧化物电阻器。与普通电阻器相比，碳膜高兆欧电阻器噪声大、不稳定、温度系数高、电压系数大、并且非常脆。金属氧化物型电阻器近年来的发展使其电压系数大为降低，温度系数和时间稳定性也得到改进。现代的器件可以达到电压系数小于5ppm/V，经过5年的测试以后没有明显的漂移。100MΩ的温度系数在0.01%/℃ ，100GΩ的温度系数在0.025%/℃。

处理这类电阻器要特别小心。由于机械振动引起导电材料的微粒移动，可能会大大改变电阻的数值。不要触摸电阻元件或其玻璃外壳也是非常重要的。这样做以后，由于产生了新的电流通路或者产生了小的电化学产生电流，从而可能会改变其电阻值。

电阻器经过表面涂敷，以避免在其表面形成水膜。所以，如果由于不当的处理或空气污染物的沉积而在其表面形成薄膜，则应使用浸了甲醇的泡沫签来清洗。清洗之后，应当使电阻器在低湿度的空气中干燥几个小时，以便使静电消散。