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摘要
 在传统的Talbot光刻中，在光敏层中仅使用一个图像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通过傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像，柱状图位于主像面上，孔状图位于次像面上。

 建模任务
结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015)
 某一位置的Talbot图样

  某一位置的Talbot图样

 不同位置的Talbot图样

 不同位置的Talbot图样

 沿Z轴的强度

 走进VirtualLab Fusion

 VirtualLab Fusion的工作流程  构建光栅结构- 用特殊介质构造光栅结构 [用例] - 超颖光栅构建 – 示例讨论 [用例]   通过参数运行计算不同位置的强度- 参数运行文件的使用 [用例]   VirtualLab Fusion技术

  文件信息

 延伸阅读
- 超稀疏介质纳米线栅偏振片- 光栅级次分析器- Talbot效应的建模