建模任务: 平面波入射周期为200nm的镀铬线性矩形光栅,基底为融石英,产生TE模的起偏。 ![]() —TM模偏振光的透过率最小化 优化函数: —最小化TE的透过率 —最小化偏振度(要求>50:1) ![]() ![]() —光栅深度:20—200nm 优化算法: —使用Parameter run 进行一个全波长的全局搜索使得TE透过率的最大值最小同时使得偏振对比度的最大值最低。全局搜索不是强制的,但是它帮助确定在几个最大值和最小值之间确定优化参数的起始点。—参数优化使用下山简法(局部优化)和模拟退火法(全局优化)。参数优化使得找到在偏振对比度和TE透过率之间的一种平衡。 光路流程图和偏振分析器: 偏振光栅的光路流程图存储在文件“Scenario_315.01_Optimization_of_Grating_Polarizer_01”中。 对于给定的波长范围,偏振分析器被用来计算相关偏振方向的最大和最小值。并可以计算 和 的反射或透射的最大和最小值。像偏振对比度这样高级的优化函数也可以被计算出来。 Parameter Run 的全局搜索: Parameter Run文件存储在“Scenario_315.01_Optimization_of_Grating_Polarizer_02”中。 Parameter Run 设置 缝宽:10—19nm 步长10nm; 规划深度:20——200nm 步长10nm; 使用扫描模块进行所有参数的整合研究。 在自由参数模块中选择深度和缝宽。 使用扫描模块进行参数联合调查。 ![]() ![]() TE透过率和偏振对比度对于不同参数设置已经达到了最大化。 参数构成: 缝宽50nm,规划深度200nm;最小TE透过率72.7%;最小偏振对比度62;TE透过率均匀误差7%; |
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光栅起偏器的参数优化

关键词: 偏振
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