镀膜倾斜光栅通过VirtualLab的可编程光栅元件生成。该光栅不同厚度的反射率可以在参数运行中(Parameter Run)进行分析。
关键词:光栅,镀膜,倾斜光栅,可编程光栅,参数运行(Parameter Run)
所需工具:Grating Toolbox Basic
相关Tutorials:G.001; G.014 建模任务
镀膜倾斜光栅 目标平面 周期:10um 厚度:10um 倾斜角度:20度
光栅的参数
—倾斜角度 1—(光栅)前面的介质 —填充因子 2—后面的介质 —膜层厚度 3—膜层材料 —光栅厚度
² 设置层数和转折点以确定膜层
² 可以通过Structure Preview 按钮查看
实现可编程光栅
参数运行Parameter Run(绕y-轴旋转) 参数运行Parameter Run(绕y-轴旋转)
参数运行Parameter Run(绕y-轴旋转)
² 双击 Data Series Diagram
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镀膜倾斜光栅

关键词: 镀膜
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