摘要 白光干涉测量法是一种非接触式技术,用于精确测量,例如表面轮廓和微小位移。使用迈克尔逊干涉仪设置和氙灯光源,在VirtualLab Fusion中演示了白光干涉测量。考虑到光源的光谱特性,即有限的相干长度,结果显示仅当两个臂的路径长度几乎相同时才出现干涉图案。 ![]() 1. 建模任务 ![]() ![]() 3. VirtualLab Fusion概览 ![]() ![]() ![]() |
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白光迈克尔逊干涉仪
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