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TRCX：掺杂过程分析

Rosaaa
助工
2024-12-11 08:47:47     打赏

在 LTPS 制造过程中，使用自对准掩模通过离子注入来金属化有源层。当通过 TRCX 计算电容时，应用与实际工艺相同的原理。工程师可以根据真实的 3D 结构提取准确的电容，并分析有源层离子注入前后的电位分布，如下图所示。

image.png

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关键词： 掺杂     过程     分析    

wzj9944
专家
2024-12-11 10:05:27     打赏
2楼

感谢楼主分享


评论
yinwuqing
专家
2024-12-11 10:33:27     打赏
3楼

谢谢分享


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