MEMS惯性器件包括MEMS加速度计和MEMS陀螺仪，前者测量物体的加速度，通过一次积分和二次积分获得物体的速度和位置。后者测量物体的姿态角速率，通过积分获取物体的姿态角。

作为在工程上广泛应用的测量装置，MEMS惯性器件的指标需要能体现其测量的精度，测量的稳定性以及应用时对环境的适应性。