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顾名思义，源-测量单元（SMU）同时具有测量和源两种功能。在测量仪器上附加电流和电压源功能，为各种低电平测量应用提供了额外的灵活性。例如：很高的 电阻值可以通过在其两端施加电压，测量流过的电流值而获得。增加了源功能的SMU显然较使用几台独立的仪器更方便，更适于应用在检测产生I-V特性曲线的 半导体芯片或其它器件的测试方面。

典型的SMU可提供以下四种功能

* 电压测量

* 电流测量

* 电压源

* 电流源

这些功能可以单独使用亦可按下列方式组合使用

* 做为电压源的同时测量电流，或

* 做为电流源的同时测量电压

SMU的许多特性类似于静电计，因此它适用于低电平测量。其输入电阻非常高（典型值为100TΩ或更高），做高源内阻电压测量时减小了电路的负载误差。极小电流测量灵敏度类似于皮安表，有的低于10fA。

源－测量单元的另一个重要特点是其扫描功能。无论电压还是电流均可以特定的增量在指定的量程内进行扫描，同时测量每一阶梯的电流或电压值。SMU内置的源-延迟-测量循环可以使测量速度最优化，以保证当电流需要足够的建立时间和测量的完整性。

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