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用于微结构晶片检测的光学系统

cherryj
工程师
2023-02-14 17:44:31     打赏
摘要

在半导体产业中，晶片检测系统用于检查晶片上的缺陷并找到它们的位置。为保证微结构的图像解析度，检测系统常使用一个高NA的物镜，工作在紫外波长范围。作为一个例子，模拟了一个完整的晶片检测系统，包括高NA聚焦效应和光与微结构的互作用，并演示了图像的形成。
  建模任务  结果  结果 
 结果  文件信息 


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yzw92
专家
2023-02-15 08:52:51     打赏
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Hope2022
高工
2023-02-15 09:04:55     打赏
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huan2220
高工
2023-02-15 09:09:57     打赏
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13317725999
高工
2023-02-15 09:42:18     打赏
5楼

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悦菡
高工
2023-02-21 07:15:50     打赏
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北山独狼
高工
2023-02-21 08:14:55     打赏
7楼

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