案例563(1.0) 1.建模任务
这个案例将演示设计与分析一个折射率调制的扩散器图层以生成Top Hat图案。 设计包括两个步骤:- 设计相位函数来生成一个角谱Top Hat分布。- 基于相位调制来计算对应的折射率调制。 如果想要更详细的解释设计和分析步骤,请参见教程Tut565。

11楼
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