EEPW论坛

自上海成为中国半导体生产基地以来，围绕在晶圆代工生产线周围的半导体产业链逐步形成。从2003年开始，从事光罩建设的生产厂逐渐增多，目前主要集中于长江三角洲地区。 　　由于中国仅有数家研究所从事光罩研究，并不能形成产业化运作，而占领中国市场的则是杜邦、福尼克斯(Photronics)等国外公司。一直以来与杜邦抗衡的福尼克斯，近来在中国动作颇大，目前福尼克斯已在上海张江开始投资建设光罩厂，其主要供应对象锁定在上海发展越来越快的半导体晶圆代工厂。 　　据悉，福尼克斯在上海张江工厂总面积约1.8万平方公尺，投资金额为2900万美元，可提供到0.25微米制程的光罩，但主要产能集中于0.35微米以上制程。相对于福尼克斯，杜邦上海仅仅作为交易的平台，其产品和服务的提供则由台湾、新加坡厂商运作，并没有完成本土化。 　　相对于国际光罩厂在中国的动作，中国本土厂商也已开始光罩产品开发、生产的动作，中芯国际已建设了光罩厂，但目前中芯国际所建设的光罩厂主要提供0.18微米制程产品。而根据中芯国际员工表示，中芯国际目前建设光罩厂及现在建设的测试服务项目，都将是针对中芯国际内部运作而用，并不会提供对外服务。针对中芯国际目前0.18微米制程配套设施，中芯国际所进行的光罩厂将成为未来中芯驰骋国际市场的利器。 　　业内人士表示，中芯国际光罩厂独立可能性不大，因为针对晶圆加工产业而言，光罩厂主要与制程相配合，其他晶圆厂若采用中芯国际光罩厂产品很难保证技术的保密。除中芯国际外，无锡也已拥有光罩厂，而投资建设光罩厂的则是华润集团。其光罩厂虽说已表示完全对外供货，但由于华润集团本身拥有包括无锡华晶这样的晶圆厂，故其产品开发也主要集中于0.5微米左右进行生产。 　　由于中国大量晶圆加工厂所生产的产品集中于0.35微米，故国外厂商看好中国市场0.35微米及0.5微米制程。据福尼克斯上海人员表示，目前福尼克斯已经开发出65奈米光罩技术，但真正大范围应用于生产的则还是在0.18微米左右。(国际金融报)