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数字扫描探针显微镜（scanning probe microscope，SPM）是研究纳米的重要工具，它利用探针和样品的不同互相作用来探测表面或界面在纳米尺度上表现出的物理性质和化学性质，它的问世对表面科学、物理学、微电子学、电子材料学、先进材料和纳米材料等研究领域技术重要的意义，与此同时，数字信号处理技术已经发展得相当成熟，DSP技术也已经广泛地应用于通信、测量、多媒体、消费电子产品等领域，由于把DSP和SPM结合在一起是SPM仪器发展的必然方向，它能使SPM性能更趋于完善，为此，本文介绍如何用TMS320C5416来实现这一设想！ SPM系统方案及其缺陷 现有的SPM系统主要基于PCI形式，该方案中，计算机通过PCI卡和SPM控制板保持通信此系统由扫描器、电子控制板和控制处理软件三部分组成，其中扫描器是执行部分，它通过步进马达和压电陶瓷管的三维伸缩来实现扫描探针对样品表面的扫描；控制处理软件是中央控制部分，通过控制软件可设置扫描参数、对扫描过程实行实时调节和监控（再线扫描控制）以及对扫描图像进行分析 处理（离线数据分析），电子控制板则是连接控制软件和扫描器的中间部分，担负着在扫描过程中的将控制软件下达的指令时实的转化为对扫描器的具体操作任务，因此，电子控制系统的精确程度和对指令的反应速度直接影响着成像的效果，设计好的电子控制系统对整个STM来说至关重要。 虽然基于PCI形式的系统在一般控制、传输速度及成像效果上都能达到基本要求，但作为精密仪器，其效果还远不够，主要缺点如下： （1）PC机的开关电源对高精度的A/D，D/A芯片干扰太大。 （2）PCI卡每次只能对一路信号寻址，系统的实时性较低。 （3）由于需要较大的计算资源开销并要运行一个复杂的非线性校正算法，该控制板需要一个处理能力强的处理器。 （4）存储器及握手方式不够理想。 系统设计思想 为了解决上述缺点，笔者给出了一种基于DSP的新型数字式SPM系统的设计方案该方案和图1的明显区别的是，图2方案在SPM控制板上添加了一块DSP芯片，SPM控制板和计算机信息交换将先通过DSP作相应处理，然后再送至对方，DSP和计算机的通信采用全双工RS-232串口通信方式。 DSP控制板的结构和功能 经过对SPM仪器的控制流程、时序要求、扫描方式、反馈模型和实时性进行全面分析，并对几种DSP芯片的性能的比较，本设计决定采用TI公司的54X系列DSP芯片，该系统的DSP的运算处理速度、处理精度、功耗都能满足SPM应用系统的反馈要求。 TMS320VC5416是TI公司的16位定点DSP，其时钟频率为160MHz，能够实现高速运算（160MIPS）和大容量存储，片上有128×16位的SRAM和16K×16位ROM。TMS320VC5416芯片内核和I/O口分别采用1.5V和3.3V供电，故可有效降低功耗。 理论上，该DSP片上SDRAM的容量应该能够满足数据存储要求，因此，为了减小系统的复杂性，就不再进行片外SRAM的扩展，这也就局限了系统以后的完善和升级，为了提出程序运行速度，设计采用Flash Bootloader方式，即先将程序下降到片外Flash中，在DSP上电后，系统将自动将Flash中的程序读入到片上RAM中运行，所以本设计也在DSP外部扩展一片256×16位的Flash。设计时选用的是AMD公司的AM29F800B型号Flash，容量为8Mbit，可操作在128×16bit和512K×16bit数据存储形式，本设计采用512K×16bit