如图1所示,TSP-Link是一种用于TSP仪器的通信和触发总线。这种总线支持仪器共享指令,为响应事件而发送触发器,并且不需要安装在基于主机的系统中。同步时间范围为几微秒或者更短。单个TSP仪器可以通过TSP-Link总线与多达31个其它仪器进行通信。
图1:TSP-Link单元间通信总线
采用嵌入在每个仪器中的测试脚本进程(TSP®)和TSP-Link®内部单元通信总线协调指令和数据的触发和通信可以提高总测试吞吐能力。由于多个继电器关断/打开命令被扫描列表所替代,因此控制PC发送的命令有所减少。此外,将测试指令保存在吉时利707B型开关主机和吉时利2636A型源表[1]上不再需要每次运行测试时重新载入这些命令。由于控制PC仅通过通信接口发送命令一次,因此命令解析时间也缩短了。最后,硬件触发功能可以协调仪器的使用,同时除去PC软件中不必要的延迟和轮询所产生的时间。
在给定的参数测试操作中,每一个探针步骤都包含多个开关通路选择和测量。对一个晶圆进行上千次的测量后,未进行优化的应用中的软件和通信开销时间会对总测试时间产生显著影响。与吉时利2600A系列系统SourceMeter源表[2]一样,吉时利707B型和708B型开关主机也采用了TSP技术,这是一种分布式计算形式,它可使仪器使用一些一般由系统控制器管理的功能,并且可以实现尽可能最快的系统计时。
并行执行测试可以进一步利用TSP技术的优势。比如,吉时利707B型和708B型开关主机可以用来管理多个源测量仪器,从而同时分析多个测试结构的特性。在前一个示例中再增加一个SourceMeter源表[3]可以实现在电阻、二极管和晶体管上同时运行测试。在TSP-Link接口[4]上的单个数字信号处配置要启动的所有测试,可以轻松地同步一个测试结构上的所有测试的启动。TSP可将触发控制器功能内置到仪器中,从而使用户能够针对来自多个仪器的触发信号执行逻辑AND/OR操作。