测试应用与设备结构的配合
在面临这些挑战时,生产测试工程师必须彻底纵览ATE前景,寻找新的硬件结构和软件结构,从中找出满足其测试功能所需的最佳选择。当然,根据具体应用选择成本最节省的设备也是必需的。但是,在绝大多数生产测试中,对电子部件(或模块)重复的、序列化的测试是一个共同的要求,利用这组测试序列可对被测样品施加电压或电流、测量DUT反应、将测量值与极限值进行比较,并做出通过/失效判决等。从整个生成过程看,在生产初期尤为如此。对于这些应用来说,准确的低噪声电流、电压源和测量能力是必不可少的。
简单的2-4引脚元器件。该类DUT包括电路保护装置、二极管、LED、晶体管、三端稳压器、直流-直流变换器、光隔离器、MEMs开关以及继电器等元器件。对于二端器件,可以使用一个相当简单的源-测量规程。三端器件和四端器件需要较为复杂的测试,测试两个通道上的快速瞬时响应,以便产生准确的I-V特性曲线。随着最新的元器件分选器(Handler)已经能以10ms每个元器件的处理速度快速筛选元器件,仪器速度已成为了测试系统的瓶颈。
元器件阵列。此类例子包括电阻阵列(阻排)芯片、瞬时电压抑制(TVS)阵列、集成式铁氧体器件以及倒装芯片阵列等。对这些器件的测试就如同在这些器件的分立模型上进行测试一样,然而在阵列获得通过之前,所有的单个器件必须先测试完毕。若想获得高的吞吐速率,这些阵列的产品要求采用并行的多通道测试。
IC/RFIC/晶圆上器件测试。这种类型的产品包含多种多样的复杂器件。在生产初期,一般要求对这些器件测量 nA 量级(10-9A)的静态电流及漏电流。这样高的灵敏度要求来源于低功率设计,这种设计有助于延长电池供电的寿命。此外,该类型产品测试通常包括一套简单的DC测量组合,用来检查晶圆上面所有器件的基本功能。由于每块圆片都有数以千计的器件,因此必须采用快速的多通道测试技术。
其它复杂的器件/模块。举例来说,包括电源、数据采集卡、RFIC功率放大器以及混合集成电路(Hybrid IC)。此类产品的测试要求从DC至RF范围内的多种测量仪器,通常要求源-测量序列和多台仪器之间进行严格的时序排列,以精确表征DUT 的电学特性。采用相对较多的并行通道构造定制的测量系统时,通常需要易于多台组合的仪器和测试设备。