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为确保高可靠性，Nanomix公司对基于碳纳米管技术的FET进行了晶圆级测试，在模拟使用条件下对封装的纳米管传感器进行了测试。

传感器的生产

位于加州埃默里维尔市的Nanomix公司是最先面向市场推出纳米电子探测设备的公司，并不断开发它的SensationTM碳纳米管（CNT）技
术实现高附加值诊断与监测应用。目前该公司的产品包括呼吸气体监测设备和用于各种应用的液体介质生物分子探测器。

极具代表性的是，Nanomix传感器是基于采用化学汽相淀积工艺和某些特殊方法在6英寸晶圆上制备的CNT网络FET制成的。有时候采用了柔性衬底和喷涂工艺。CNT网络上喷涂了一层功能层，与感兴趣的化学或生物分析物相互作用。功能层和分析物之间的相互作用会使FET的电气特征产生可测量的变化。如图1所示。利用CNT的纳米级直径及其化学和电气特性可以进行超灵敏的探测。最终形成的传感器不但尺寸精巧，而且功耗极低。

在生产过程中，我们需要在晶圆级进行测试以评测FET的基本特征。在FET功能形成后，将封装后的器件暴露给目标分析物，然后分析它们的探测特征。

请下载：测试系统是开启纳米技术实际应用之门的钥匙.pdf