NSOM
所谓近场光学显微术是将光纤探针与近年来新兴的扫描探针显微术 (scanningprobe microscopy) 相结合,除了可获得高分辨率的表面粗糙度影像外,同时亦可藉由光
纤探针来接收或传送光学讯号而得到光学影像,此乃光学检测技术之一大突破。
NSOM是在STM 被发明后的两三年中,由Pohl 等人在IBM-Zurich Lab 所发展出来
的。它的主要架构和STM 相似,主要的不同在于它以拉成针形的光纤取代金属探针。
一般的远场光学显微镜因受光绕射极限的限制,所以能观测到的尺度有限。但NSOM
在近场侦测则无此限制。所以将光纤带至与样品表面远小于入射光波长的距离,则解析
度大约20nm 的分辨率是可以达到的。
为了使影像充分反映表面光学性质,利用采剪力式(shear force mode)的做法来除掉
当光纤探针在扫描样品表面时所带来的影响。当光纤和表面很接近时,因与样品交互作
用导致振幅或相位改变。若锁定一变化值,便能使探针和表面保持一定的距离,图十二
是NSOM 的装置简图。
图十二. NSOM 的仪器设计