衍射分束器能够通过预先设置的功率比值将单束激光分割成多束,广泛应用于激光材料加工和光学计量等领域。但是由于非近轴、高数值孔径分束和衍射角所需的特征尺寸较小,这种器件的设计和优化可能具有难度。VirtualLab Fusion为光学工程师提供了几个工具来帮助他们完成这项任务。 为了说明一般工作流程,我们展示了两个案例:在第一个案例中,我们采用迭代傅里叶变换算法(IFTA)和基于薄元近似(TEA)的结构设计生成一系列分束器的初始设计,然后通过傅里叶模态法或严格耦合波分析(FMM/RCWA)进一步优化。为了给最后一个优化步骤定义一个合适和有效的优化函数,应用了可编程光栅分析器。第二个示例更详细地介绍了这一部分。 非近轴衍射分束器的严格分析 采用傅里叶模态法(FMM)对非近轴衍射分束器进行了严格的评价,该方法最初采用迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元近似算法(TEA)进行设计。高数值孔径分束器优化与用户定义的优化函数 |
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非近轴衍射分束器的设计与优化

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