在充分考虑氙气灯光源的光谱特性(即有限的相干长度)基础上建模具有氙气灯的迈克尔逊干涉仪。光学层析扫描干涉仪
使用低相干氙气灯,建立一个迈克尔逊干涉仪,用以精确扫描给定样品的表面轮廓。
在充分考虑氙气灯光源的光谱特性(即有限的相干长度)基础上建模具有氙气灯的迈克尔逊干涉仪。
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