TRCX：掺杂过程分析-电子产品世界论坛

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TRCX：掺杂过程分析

助工

2024-12-11 08:47:47 打赏

在 LTPS 制造过程中，使用自对准掩模通过离子注入来金属化有源层。当通过 TRCX 计算电容时，应用与实际工艺相同的原理。工程师可以根据真实的 3D 结构提取准确的电容，并分析有源层离子注入前后的电位分布，如下图所示。

关键词：掺杂过程分析

专家

2024-12-11 10:05:27 打赏

2楼

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专家

2024-12-11 10:33:27 打赏

3楼

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