主要用途 器件表面图形的刻蚀。 性能参数 a)可实现各向异性刻蚀，工艺稳定，重复性好； b)射频功率源：600瓦，频率13.56MHz； c)刻蚀时间可调范围：10s-1800s d)配置3路MFC 应用范围 对Si、 Poly-Si、 SiO2、 Si3N4、 PI、 Ti、 Ta、 Mo等物质进行各项异性刻蚀后的观察。
STM32
MCU
通讯及无线技术
物联网技术
电子DIY
板卡试用
基础知识
软件与操作系统
我爱生活
小e食堂
