主要用途
器件表面图形的刻蚀。
性能参数
a)可实现各向异性刻蚀，工艺稳定，重复性好；
b)射频功率源：600瓦，频率13.56MHz；
c)刻蚀时间可调范围：10s-1800s
d)配置3路MFC
应用范围
对Si、 Poly-Si、 SiO2、 Si3N4、 PI、 Ti、 Ta、 Mo等物质进行各项异性刻蚀后的观察。
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