建模任务
横向干涉条纹——50 nm带宽
横向干涉条纹——100 nm带宽
逐点测量
VirtualLab概览
VirtualLab Fusion的工作流程• 设置入射高斯场- 基本光源模型• 设置元件的位置和方向- LPD II:位置和方向• 设置元件的非序列通道- 用于非序列追迹的通道设置
VirtualLab技术
文件信息

延伸阅读
- 激光迈克尔逊干涉仪和干涉条纹探测
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- 用于光学测量的斐索干涉仪
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