本案例介绍利用衍射扩散器使准分子激光光束均匀化,通过优化扩散器以生成一个圆形的top hat。
关键词:衍射光学,衍射光学元件,均匀(homogenization),扩散器,准分子激光,部分相干
所需工具箱:Starter Toolbox Premium
相关Tutorials:HSL.1, DO.2
建模任务 衍射扩散传输器 目标平面
准分子激光 聚焦透镜(f=20mm) 强度分布 照射光束参数
·光源面尺寸:100×100um ·发散角(HWHM):0.89×0.89° ·空间相干长度:3×3 um ·波长:351nm
衍射发散器
·取样间隔:5um ·尺寸:640×640um
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利用衍射扩散器使准分子激光光束均匀化

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