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ASYST获力晶订单,拓展12寸厂“自动材料处理系统”
Asyst Technologies公司日前宣布,它已经获得力晶半导体股份有限公司(Powerchip Semiconductor)数百万美金的订单,用于在台湾新竹拓展力晶12英寸晶圆厂12A的二期“自动材料处理系统”(AMHS)。
力晶半导体的Fab 12A是台湾地区第一个定制建造的生产高级存储产品的300mm fab,并且在世界上是同领域中三个顶级的300mm DRAM大批量生产工厂之一。“二期AMHS”预计在2004年第一季度开始组装。
力晶半导体发言人表示,选择Asyst-Shinko是因为在制造一期生产厂过程中它的突出表现和高的可靠性。
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