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应用材料公司旗下子公司――AKT，平面显示业的化学辅助气相沈积(简称PECVD)系统供应商，日前宣布出产了第400台PECVD系统。这套系统属于第5代AKT-15K PECVD产品，已被交付给中国一家客户并将用于生产液晶显示器与电视。AKT的其他PECVD系统据称已被安装在从日本到韩国和中国台湾的几乎所有每家TFT LCD生产厂家中。 据介绍，AKT的PECVD系统可进行一系列单层或即时多层薄膜沈积，形成参杂及非参杂的非晶矽(a-Si) 膜，氧化矽(SiOx)膜，氮氧化矽(SiON) 膜和氮化矽(SiNx) 膜。 在今年2月发布的该公司最新的CVD系统，是为处理第7代基板的AKT-40K PECVD系统，用以生产高性能低成本的大尺寸高解析度液晶电视。第七代基板尺寸约为1.8米X2.2米， 每片可被制成8片40英寸或6片46英寸的电视面板。 AKT已在2004年七月出产交付全球第一台第七代生产机台。 “随着数字技术和高画质电视的普及，平面显示业也在持续飞速发展。”AKT公司总裁温代尔？布隆尼根(Wendell Blonigan)说，“我们系统的高产能及高稳定性为客户提供了优质高效低成本的沈积技术，并使客户能在极短时间内快速转变到越来越大的基板生产上。显示器制造商正大力投资建造以第六代及最先进的第七代技术为主流的先进新厂。”