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雷尼绍激光干涉仪问题

菜鸟
2007-09-14 20:24:46     打赏
各位前辈,小弟我想了解下激光干涉仪器测垂直度\平行度\背隙,除了有激光头组件外,需要补偿装置吗?



关键词: 雷尼绍     激光     干涉仪     问题    

菜鸟
2007-09-14 20:25:20     打赏
2楼
激光干涉儀僅提共誤差量測 誤差補償都建立在數控上

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