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关于layout的一个基本问题

两毛
助工
2007-12-01 21:01:14     打赏
关于layout的一个基本问题 我画一个nmos管的话只要在p-sub上画一个n+区域,然后在上面画poly和metal就可以了吗?为什么还要画一层active,在active上才能画poly和metal了?active层在工艺上究竟是注入的一层什么东西了?
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关键词： 关于     layout     一个     基本     问题    

alalei
助工
2007-12-02 23:36:21     打赏
2楼
p管和n管的有源区是一次光刻形成的再氧化一层场氧，然后p注和n注，p注时光刻胶在p有源区开窗，n有源区被光刻胶阻挡，反之亦然

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