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低电平脉冲测量涉及输出电流脉冲并测量所产生的电压。因为 6221 / 2812A 的组合用于解决在低信号电平、低电平噪声条件下的脉冲特性分析问题。然而,6221 / 2182A 组合与以往所有的测试配置在一些重要方面不相同。一个区别是所有脉冲测量都是差分 (或相对) 测量。这意味着会给测量信号增加误差 (例如偏移、漂移、噪声和热电的 EMF) 的背景电压被消除了。 |
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使用 delta 模式测量技术消除偏移。 |
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两点 delta 模式测量的操作是输出电流脉冲并且在每次脉冲之前和脉冲期间各进行一次测量。得到这两次测量的差值就消除了任何恒定的热电偏移,保留了真实的电压值。然而,两点测量法不能消除随时间漂移的热电偏移。使用 delta 方法中的第三个测量点就能消除漂移的偏移量。 |
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第三个测量点是可选的,但是并不可取。例如,取决于器件的定时特性,如果输出的电流脉冲对器件有长期效应,那么由于 DUT 脉冲带来的热量,用于取消移动偏移的第三测量点可能包含误差,因此弊大于利。 为了解更多用于纳米科学的不同测量技术,务必要获取吉时利最新版的纳米技术测量手册和低电平测试测量手册。 |